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     半導(dǎo)體行業(yè)


       半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)設(shè)備的要求非常高,需要高精度控制、高一致性、高可靠性,以超精密的方式進行納米級別芯片的生產(chǎn),這給設(shè)備制造商帶來了獨特的挑戰(zhàn)??浦Z致力于為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級貢獻自己的力量,研發(fā)生產(chǎn)出了高精度智能化電源,目前科諾生產(chǎn)的一拖二高精度IGBT感應(yīng)加熱電源已大量應(yīng)用于常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)領(lǐng)域,高精度射頻電源應(yīng)用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)領(lǐng)域,高精度IGBT感應(yīng)加熱電源已出口臺灣地區(qū),廣泛應(yīng)用于碳化硅晶體生長、半導(dǎo)體氧化擴散(Oxide/Diff)等領(lǐng)域。












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                                                    一拖二高精度IGBT感應(yīng)加熱                                                                                                                     碳化硅晶體生長電源

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